SKY® CDG025D-X3
풀 스케일 0.1 ~ 1000 Torr/mbar
산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
정밀도와 신뢰성이 중요한 어플리케이션에서 인피콘 Sky는 압력 측정 및 제어를 위한 최고급 제품인 CDG025D-X3 커패시턴스 다이어프램 게이지를 소개합니다. 이 게이지는 수십 년간의 경험과 최첨단 기술을 결합하여 업계에서 타의 추종을 불허하는 표준을 제시합니다.
SKY® CDG025D-X3 소개
매우 정확한 온도 보정: CDG025D-X3는 고급 온도 보정 기술을 사용합니다. 따라서 극한의 조건에서도 안정적이고 정확한 측정을 보장합니다.
부식 방지 세라믹 센서는 대기압 버스트를 포함하여 수백만 압력 사이클의 긴 수명으로 뛰어난 제로 안정성을 제공합니다.
고급 디지털 전자 장치: 이 게이지의 전자 장치는 최첨단일 뿐만 아니라 인상적인 기능도 제공합니다. 원터치 제로화 및 설정 포인트 조정으로 사용 편의성이 향상되었습니다.
최신 SKY® 기술
수명이 긴 세라믹 센서: 부식에 강한 울트라 세라믹 센서는 대기압 강하 시에도 게이지에 탁월한 장기 신호 안정성과 수백만 압력 사이클의 기대 수명을 제공합니다.
또한 특허 출원 중인 센서 쉴드가 프로세스 오염으로부터 게이지를 보호합니다. 이는 반도체 생산 장비와 같은 일반적인 어플리케이션, 특히 Etch, CVD, PVD 및 ALD와 같은 공정에서 특히 중요합니다. 또한 CDG025D-X3는 데이터 저장 및 디스플레이 제조 장비, 산업용 진공 공정 장비, 높은 정확도가 요구되는 일반 압력 측정에도 이상적입니다.
특별한 특성 및 장점
전자기 간섭이 심각한 문제가 될 수 있는 오늘날의 산업 환경에서 CDG025D-X3는 EMC 호환성을 염두에 두고 설계되었습니다. 이는 인상적인 장기 안정성 및 온도 보정과 결합되어 수년간 안정적인 성능을 보장합니다.
또한 CDG025D-X3는 전원을 켠 후 빠른 안정성과 대기압 노출 후에도 똑같이 빠른 회복 속도를 제공하므로 까다로운 산업 분야에 없어서는 안 될 계측기입니다. 단순한 게이지가 아니라 진공 측정 기술의 품질과 혁신을 상징하는 제품입니다.
혜택
- 풀스케일 범위: 100mTorr ... 1000 Torr
- 전원 켜기 후 빠른 안정성
- 대기압에서 빠른 회복
- 부식 방지 세라믹 센서
- 뛰어난 장기 신호 안정성
- 온도 보정
- 오염으로부터 이중으로 보호되는 센서
- 하나의 푸시 버튼 제로 기능
- 넓은 범위의 전원 공급 장치
- 2개의 셋 포인트
- RS232 인터페이스
- 클린룸 준수
일반적인 애플리케이션
- Etch, CVD, PVD, ALD용 반도체 제조 장비
- 데이터 저장 및 디스플레이 제조 장비
- 산업용 진공 장비
- 일반 고정밀 압력 측정
사양서
| 정확성 | % of reading | 0.2 |
| 분해능 | percent FS | 0.003 |
| 출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
| 응답 시간 | ms | 30 |
| 진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 정확성 | % of reading | 0.2 |
| 분해능 | percent FS | 0.003 |
| 출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
| 응답 시간 | ms | 30 |
| 진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 정확성 | % of reading | 0.2 |
| 분해능 | percent FS | 0.003 |
| 출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
| 응답 시간 | ms | 30 |
| 진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 정확성 | % of reading | 0.25 |
| 분해능 | percent FS | 0.003 |
| 출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
| 응답 시간 | ms | 130 |
| 진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 정확성 | % of reading | 0.5 |
| 분해능 | percent FS | 0.003 |
| 출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
| 응답 시간 | ms | 130 / 30 |
| 진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
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