INFICON SKY® CDG100D

INFICON SKY CDG100D 압력계는 정확한 총 압력 측정 및 제어를 위한 최상의 선택입니다. CDG100D 게이지는 까다로운 반도체 및 플라즈마 공정에서 뛰어난 성능을 발휘하기 위해 100°C에서 온도를 제어합니다. 이 게이지는 모든 일반 플랜지 유형과 필드버스 인터페이스를 사용하는 100mTorr~1000Torr의 전체 규모 범위에 사용할 수 있으며, 가스 종류에 상관 없이 선형 0~10V 압력 신호를 제공합니다. INFICON 용량형 압력계는 부식 방지되는 초고순도의 알루미나 세라믹 격막을 사용합니다. 세라믹 센서의 장점은 신호 안정성 향상, 대기에서 더 빨라진 복구, 짧은 예열 시간 및 이례적인 수명입니다. INFICON CDG는 까다로운 반도체, 플라즈마 및 진공 적용개소에 적합한 고품질의 경제적인 압력 센서입니다.

장점

CoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비
간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준
손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
2년 보증, 고급 가열 개념을 이용한 수명 연장 및 게이지 보호
열악한 플라즈마 응용 분야에서도 탁월한 신호 안정성과 반복성으로 인해 장기간 재교정 없음
규정 준수 및 표준: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

일반적인 응용 분야

Etch, CVD, PVD 및 기타 반도체 생산 프로세스
화학 및 부식 고온 공정
게이지 보호가 필요한 일반 박막 및 진공 공정

사양서

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.1 Torr / mbar

정확성	% of reading	0.2

해상도	percent FS	0.003

출력신호(아날로그)	V (dc)	0 … +10

응답 시간	ms	30

진공에 노출된 재료		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

정확성	% of reading	0.2

해상도	percent FS	0.003

출력신호(아날로그)	V (dc)	0 … +10

응답 시간	ms	30

진공에 노출된 재료		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

정확성	% of reading	0.4

해상도	percent FS	0.003

출력신호(아날로그)	V (dc)	0 … +10

응답 시간	ms	130 / 30 ⁽³⁾

진공에 노출된 재료		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

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장점

일반적인 응용 분야

사양서

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