커패시턴스 마노메타
SKY® CDG200D
200°C 온도 제어, 풀 스케일 1 … 1000 Torr / mbar
ACADEMY
산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?
INFICON SKY CDG200D 고온 압력계는 정확한 총 압력 측정 및 제어를 위한 최상의 선택입니다. CDG200D 게이지는 까다로운 반도체 및 플라즈마 공정에서 뛰어난 성능을 발휘하기 위해 200°C에서 온도를 제어합니다. 이 게이지는 모든 일반 플랜지 유형과 필드버스 인터페이스를 사용하는 1Torr~1000Torr의 전체 규모 범위에 사용할 수 있으며, 가스 종류에 상관 없이 선형 0~10V 압력 신호를 제공합니다. INFICON 용량형 압력계는 부식 방지되는 초고순도의 알루미나 세라믹 격막을 사용합니다. 세라믹 센서의 장점은 신호 안정성 향상, 대기에서 더 빨라진 복구, 짧은 예열 시간 및 이례적인 수명입니다. INFICON CDG는 까다로운 반도체, 플라즈마 및 진공 적용개소에 적합한 고품질의 경제적인 압력 센서입니다.
장점
- CoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비
- 간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준
- 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
- 2년 보증, 가열 개념 및 게이지 보호 기능을 통한 제품 수명 연장
- 열악한 플라즈마 응용 분야에서도 탁월한 신호 안정성과 반복성으로 인해 장기간 재교정 없음
- 규정 준수 및 표준: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
일반적인 응용 분야
- Etch, CVD, PVD 및 기타 반도체 생산 프로세스
- 화학 및 부식 고온 공정
- 게이지 보호가 필요한 일반 박막 및 진공 공정
사양서
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
| 정확성 | % of reading | 0.4 |
| 해상도 | percent FS | 0.003 |
| 출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
| 응답 시간 | ms | 30 |
| 진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 정확성 | % of reading | 0.4 |
| 해상도 | percent FS | 0.003 |
| 출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
| 응답 시간 | ms | 30 |
| 진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
다운로드
브로셔
데이터시트
CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar DE
pdf
•
864,0 KB
•
독일어
•
데이터시트
SKY® CDG160D CDG200D Datasheet
pdf
•
739,2 KB
•
영어
•
데이터시트
CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar JA
pdf
•
1,0 MB
•
일본어
•
데이터시트
CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar ZH
pdf
•
1.018,3 KB
•
중국어
•
데이터시트
CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar
pdf
•
905,9 KB
•
스페인어
•
데이터시트
CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar KO
pdf
•
909,1 KB
•
한국어
•
데이터시트
매뉴얼
Gebrauchsanleitung CDG160D CDG200D DE
pdf
•
1,3 MB
•
독일어
•
사용 매뉴얼
SKY®, Edge®, Stripe® CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol
pdf
•
2,1 MB
•
영어
•
사용 매뉴얼
CDG160D, CDG200D manual
pdf
•
1,4 MB
•
중국어
•
사용 매뉴얼
CDG160D, CDG200D - Gebrauchsanleitung current loop (DE)
pdf
•
1,1 MB
•
독일어
•
사용 매뉴얼
CDG160D, CDG200D - manual
pdf
•
1,3 MB
•
영어
•
사용 매뉴얼
CDG160D, CDG200D - manual current loop (EN)
pdf
•
1,1 MB
•
영어
•
사용 매뉴얼
CDGxxxD Communication manual RS232C
pdf
•
187,4 KB
•
영어
•
사용 매뉴얼
CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
pdf
•
188,5 KB
•
독일어
•
사용 매뉴얼
Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN
pdf
•
474,8 KB
•
영어
•
사용 매뉴얼
Communication protocol EtherCAT
pdf
•
972,1 KB
•
영어
•
사용 매뉴얼
Communication protocol PROFIBUS
pdf
•
592,8 KB
•
영어
•
사용 매뉴얼
3D Step Files
SKY® CDG200D 3D 16KF 15DSUB
stp
•
937,0 KB
•
3D 파일
SKY® CDG200D 3D 4-VCR-f P-BUS
zip
•
820,0 KB
•
3D 파일
SKY® CDG200D 3D4-VCR-m P-BUS
zip
•
839,7 KB
•
3D 파일
SKY® CDG200D 3D 4-VCR-m E-CAT
zip
•
954,3 KB
•
3D 파일
SKY® CDG200D 3D Tube P-NET
zip
•
287,2 KB
•
3D 파일
SKY® CDG200D 3D 4-VCR-f P-NET
zip
•
354,3 KB
•
3D 파일
SKY® CDG200D 3D 4-VCR-m 9DSUB
zip
•
565,8 KB
•
3D 파일
SKY® CDG200D 3D 4-VCR-f 9DSUB
zip
•
543,2 KB
•
3D 파일
SKY® CDG200D 3D 4-VCR-m 15DSUB
zip
•
869,0 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D 16CF 9DSUB
zip
•
542,8 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D 16CF P-NET
zip
•
301,7 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D 16KF 9DSUB
zip
•
536,8 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D 16KF D-NET
zip
•
220,4 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D 16KF E-CAT
zip
•
242,6 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D 16KF P-BUS
zip
•
217,5 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D 16KF P-NET
zip
•
293,1 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D 4-VCR-f E-CAT
zip
•
768,0 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D 4-VCR-m P-NET
zip
•
385,9 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D 8-VCR-f 9DSUB
zip
•
374,9 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D 8-VCR-f long 9DSUB
zip
•
544,7 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D 8-VCR-f long D-NET
zip
•
853,0 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D 8-VCR-f long E-CAT
zip
•
934,4 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D 8-VCR-f long P-BUS
zip
•
821,9 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D 8-VCR-f long P-NET
zip
•
366,1 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D 8-VCR-f P-NET
zip
•
296,1 KB
•
3D 파일
SKY CDG200D tube 9DSUB
zip
•
534,1 KB
•
3D 파일
제품은 다음 마켓에서 사용됩니다r
