커패시턴스 마노메타
Stripe® CDG045Dhs
45°C 온도 제어, 풀 스케일 0.01 … 1000 Torr / mbar
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON Stripe 고속 용량식 격막 진공계는 시중에서 판매되는 제품 중에서 가장 빠르고 매우 정확한 진공 측정 기기입니다. 2 ms 미만의 응답 시간을 EtherCAT 필드버스 인터페이스와 결합한 이 기기는 적용개소의 새로운 장을 열고 있습니다. 입증된 온도 제어식 부식 방지 초고순도 세라믹 센서는 최첨단 제로 안정성과 함께 수년 간 월등한 범위 안정성을 제공합니다. Stripe는 원하지 않는 공정 부산물로부터 게이지를 보호하는 INFICON의 특허 받은 고유 센서 실드와 함께 제공됩니다. INFICON Stripe는 터치 표면을 냉각하고 고유한 속도 기능을 제공하는 혁신적인 가열 개념을 사용하여 전례 없는 생산성 증가를 가능하게 함으로써 이러한 종류에서 가장 발전된 진공 기기입니다.
장점
- 높은 생산성 – 2ms 미만의 응답 시간
- 유연한 통합 - EtherCAT 필드버스
- 긴 수명 - 입증된 세라믹 센서
- 재보정 필요 없음 – 연간 90ppm의 전체 범위 안정성
일반적인 응용 분야
- ALD(원자층 증착)
- 고속 공정 제어
- PVD, CVD, Etch
- 일반적인 고온 진공 분야
사양서
1000 Torr / 1100 mbar ... 0.05 Torr / mbar
0.02 ... 0.01 Torr / mbar
| 정확성 | % of reading | 0.15 |
| 정밀도 | % of reading | - |
| 해상도 | percent FS | 0.003 |
| 출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
| 응답 시간 | ms | 2 ... 20 |
| 진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 정확성 | % of reading | - |
| 정밀도 | % of reading | 0.2 |
| 해상도 | percent FS | 0.003 |
| 출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
| 응답 시간 | ms | 2 ... 20 |
| 진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
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Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar, neu 10mTorr DE
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Stripe® CDG045Dhs Datasheet
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매뉴얼
Gebrauchsanleitung STRIPE CDG045Dhs
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사용 매뉴얼
Stripe® CDG045Dhs Operating Manual
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사용 매뉴얼
SKY®, Stripe® Communication Protocol Diagnostic Port
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사용 매뉴얼
SKY®, Edge®, Stripe® CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol
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2,1 MB
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사용 매뉴얼
Manual CDG045Dhs ZH
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사용 매뉴얼
Communication protocol EtherCAT
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사용 매뉴얼
기타
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