커패시턴스 마노메타

Stripe® CDG100Dhs

100°C 온도 제어, 풀 스케일 0.1 … 1000 Torr / mbar

Stripe®-CDGxxx
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON Stripe 고속 용량식 격막 진공계는 시중에서 판매되는 제품 중에서 가장 빠르고 매우 정확한 진공 측정 기기입니다. 2 ms 미만의 응답 시간을 EtherCAT 필드버스 인터페이스와 결합한 이 기기는 적용개소의 새로운 장을 열고 있습니다. 입증된 온도 제어식 부식 방지 초고순도 세라믹 센서는 최첨단 제로 안정성과 함께 수년 간 월등한 범위 안정성을 제공합니다. Stripe는 원하지 않는 공정 부산물로부터 게이지를 보호하는 INFICON의 특허 받은 고유 센서 실드와 함께 제공됩니다. INFICON Stripe는 터치 표면을 냉각하고 고유한 속도 기능을 제공하는 혁신적인 가열 개념을 사용하여 전례 없는 생산성 증가를 가능하게 함으로써 이러한 종류에서 가장 발전된 진공 기기입니다.

 

장점

  • 높은 생산성 – 2ms 미만의 응답 시간
  • 유연한 통합 - EtherCAT 필드버스
  • 긴 수명 - 입증된 세라믹 센서
  • 재보정 필요 없음 – 연간 90ppm의 전체 범위 안정성

일반적인 응용 분야

  • ALD(원자층 증착)
  • 고속 공정 제어
  • PVD, CVD, Etch
  • 일반적인 고온 진공 분야

사양서

1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.1 Torr / mbar
정확성 % of reading0.2
해상도percent FS0.003
출력신호(아날로그)V (dc)0 … +10
응답 시간 ms2 ... 20
진공에 노출된 재료 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
정확성 % of reading0.2
해상도percent FS0.003
출력신호(아날로그)V (dc)0 … +10
응답 시간 ms2 ... 20
진공에 노출된 재료 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
정확성 % of reading0.4
해상도percent FS0.003
출력신호(아날로그)V (dc)0 … +10
응답 시간 ms2 ... 20
진공에 노출된 재료 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
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제품은 다음 마켓에서 사용됩니다
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分析仪器

분석 기기 시장은 광범위한 어플리케이션 및 시장 분야에서 고도로 정교한 장비 사용자를 지원합니다. 인피콘은 기체, 액체 또는 고체일 수 있는 가장 작은 구조 또는 요소 구성을 분석하고 식별하는 데 도움이 되는 최첨단 기술 제조업체와 협력합니다. 

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디스플레이

INFICON은 첨단 기술을 지원하고 최고 품질의 디스플레이 제품을 가능하게 합니다 

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전통적인 석유 및 가스 생산은 지난 수십 년 동안 수요가 증가했으며 개발 도상국의 인구 증가, 도시화 및 소비자 중산층에 의해 추진되고 있습니다.

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산업 제조

진공은 깨끗한 환경을 보장하기 위해 더 자주 사용되며 여러 공정에 필요하며 진공 없이는 작동하지 않습니다.

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진화하는 산업에서 신뢰할 수 있는 누출 테스트. 자동차 산업의 변화로 인해 누설 검사가 더욱 중요해지고 있습니다.

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제약 및 의료

생산성 향상 및 제약 분야의 규정 준수 표준 및 품질 요구 사항 충족 지원 

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기초 연구를 통해 우주의 가장 깊은 비밀을 밝히다. 내일의 기술을 강화하는 혁신을 오늘 제공합니다. 

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진공 코팅

진공 코팅 시장은 광학 분야를 넘어 불과 10년 전만 해도 거의 상상할 수 없었던 영역, 산업 및 필름 레이어로 빠르게 확장되고 있습니다.

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