진공 게이지 컨트롤러

VGC094

진공 제어를 위한 모듈형 올인원 솔루션

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VGC094는 진공 공정 측정, 제어 및 데이터 로그를 위한 최고의 솔루션입니다. 광범위한 인피콘 패시브 게이지와 호환되는 VGC094는 1×10-11 ~ 1000 mbar의 전체 진공 압력 범위를 모니터링할 수 있습니다. VGC094는 두 세트의 측정 보드로 최대 4개의 패시브 게이지 헤드(피라니 게이지, 인버티드 마그네트론 게이지)를 제어하도록 사용자가 구성할 수 있습니다. 이 컨트롤러는 최신 디지털 통신 인터페이스(USB, RS485, 이더넷)를 제공하며, 개별 인터페이스 보드(프로피버스, 프로피넷)를 통해 사용자의 특정 통신 표준에 맞게 맞춤 설정할 수 있습니다. VGC094는 장거리 작동, 고온 또는 높은 이온화 방사선 노출과 같이 까다로운 성능을 요구하는 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.

장점

원거리에서도 1×10-11~1000 mbar의 진공 모니터링 및 제어 모니터를 위한 완벽한 솔루션
밝고 선명한 화면
셋포인트 또는 압력 및 시간 보기가 포함된 막대 그래프 디스플레이
파라미터, 센서 또는 일반 설정을 위한 직관적이고 안내식 메뉴를 통한 간단한 센서 작동
USB 포트(후면) 및 USB 플래시 드라이브(전면)를 통한 데이터 및 파라미터 로그 기능
고해상도 - 16비트 A/D 컨버터
프로그래밍 가능한 0~10V 차트 레코더 출력 4개
히스테리시스를 조정할 수 있는 채널당 4개의 셋포인트
RS485, 이더넷, RS232 및 필드버스 통신 인터페이스(옵션)

사양

VGC094

측정 채널	4
디스플레이	LCD, LED 백라이트
측정 속도	100 s^-1
표시 속도	10 s^-1
측정 범위	1 x 10^-11 ... 1000 mbar
측정 단위(선택 가능)	mbar, Torr, hPa, 미크론, V
플러그인 보드용 슬롯	측정 보드 2개 인터페이스 보드 1개
셋포인트 릴레이	4
에러 릴레이	1
채널 할당	자유롭게 할당 가능
조정 범위	센서 종속적
히스테리시스	조정 가능
릴레이 접점	플로팅 전환 연락처
접점 등급	30 V (ac) / 1.5 A
접점 등급	30 V (dc) / 1.5 A
커넥터	D-sub, 25핀, 피메일
아날로그 출력	4
범위	0 ... 10 V / 4 ... 20 mA
인터페이스(디지털)	USB 슬레이브, 마스터, RS485, 이더넷, USB A형(플래시 드라이브), USB 타입 B, M12 5핀 FCC68/RJ45
전원 공급 장치	100 ... 240 V (ac)
주파수	50 ... 60 Hz
작동 온도	+5 ... +50°C

파트 넘버

부품 번호

액세서리

398-401

VGC094 진공 게이지 컨트롤러

	PSG010 80°C용 케이블 케이블 커넥터: 암페놀 / 암페놀
BG548402-T	3m(9.9피트)
BG548403-T	6m(19.8피트)
BG548450-T	10m(33피트)
BG548451-T	15m(49피트)

	PSG017/018 80°C용 케이블 케이블 커넥터: 암페놀 / 푸시풀 셀프 래칭
BG548308-T	3m(9.9피트)
BG548309-T	6m(19.8피트)
BG548456-T	10m(33피트)
BG548457-T	15m(49피트)

	PSG017/018 250°C용 케이블 케이블 커넥터: 암페놀 / 푸시풀 셀프 래칭
BG548414-T	3m(9.9피트)
BG548465-T	6m(19.8피트)
BG448047-T	10m(33피트)
BG448043-T	15m(49피트)

	PSG010/017/018 80°C용 연장 케이블 케이블 커넥터: 암페놀 / 암페놀
BG548466-T	10m(33피트)
BG548468-T	20m(65피트)
BG548470-T	30m(99피트)

	MAG050/060/084 80°C용 케이블 케이블 커넥터: 베이요넷, SHV/SHV
BG548406-T	3m(9.9피트)
BG548407-T	6m(19.8피트)
BG548419-T	10m(33피트)
BG548483-T	15m(49피트)

	MAG050/060/084 250°C용 케이블 케이블 커넥터: 베이요넷, SHV/SHV
BG548542-T	3m(9.9피트)
BG548543-T	6m(19.8피트)
BG448045-T	10m(33피트)
BG548989-T	15m(49피트)

	MAG070 80°C용 케이블 케이블 커넥터: 푸시-풀 셀프 래칭, 트라이액스/트라이액스
BG548306-T	3m(9.9피트)
BG548317-T	6m(19.8피트)
BG548490-T	10m(33피트)
BG548491-T	15m(49피트)

	측정 보드
IG546920-T	이중 피라니 측정 보드, PI 300 D
IG549212-T	이중 피라니 측정 보드, PI 300 DL
IG549214-T	이중 피라니 측정 보드, PI 300 DN
IG441375-T	이중 피라니 측정 보드, PE 300 DC9
IG441000-T	피라니/콜드 캐소드 측정 보드, CP 300 C9
IG441114-T	피라니/콜드 캐소드 측정 보드, CP 300 C10
IG441080-T	피라니/콜드 캐소드 측정 보드, CP 300 T11
IG441120-T	피라니/콜드 캐소드 측정 보드, CP 300 T11L

	인터페이스 보드
IG441130-T	인터페이스 및 릴레이 보드, IF300A RS232C
IG441250-T	인터페이스 및 릴레이 보드, IF300B RS232
IG441390-T	인터페이스 및 릴레이 보드, IF300C RS422
IG441395-T	인터페이스 및 릴레이 보드, IF300P PROFIBUS
IG441396-T	인터페이스 및 릴레이 보드, IF301P PROFIBUS semi relay
398-421	인터페이스 보드, IF500 PROFINET

	피라니 게이지
350-400	PSG010 DN 10 ISO-KF
350-430	PSG017 DN 16 ISO-KF
350-431	PSG017 DN 16 CF-F
350-420	PSG018 DN 16 ISO-KF
350-424	PSG018 DN 16 CF-F
350-423	PSG018 DN 40 CF-F

	저온 콜드 캐소드 게이지
399-840	MAG050 DN 25 ISO-KF
399-841	MAG050 DN 40 ISO-KF
399-842	MAG050 DN 40 CF-F
399-845	MAG060 DN 40 ISO-KF
399-846	MAG060 DN 40 CF-F
399-847	MAG070 DN 40 ISO-KF
399-848	MAG070 DN 40 CF-F
399-849	MAG084 DN 40 ISO-KF
399-850	MAG084 DN 40 CF-F

피라니 게이지

PSG010

PSG017

PSG018

압력 범위	8×10^-4 … 1000 mbar

피드스루 \| 내부 씰	유리 \| 엘라스토머(FPM)

베이크 아웃 온도 범위	≤100°C

전리방사선 내성	-

특징	텅스텐(W) 필라멘트

압력 범위	8×10^-4 … 1000 mbar

피드스루 \| 내부 씰	AI₂O_{3 세라믹 \| 금속}

베이크 아웃 온도 범위	≤250°C

전리방사선 내성	10⁶ Gy

특징	니켈(Ni) 필라멘트, 내식성

압력 범위	8×10^-4 … 1000 mbar

피드스루 \| 내부 씰	AI₂O_{3 세라믹 \| 금속}

베이크 아웃 온도 범위	≤250°C

전리방사선 내성	10⁶ Gy

특징	니켈(Ni) 필라멘트, 내식성

인버티드 마그네트론 콜드 캐소드 게이지

MAG050

MAG060

MAG070

MAG084

압력 범위	2×10^-9 mbar to 5×10^-3 mbar

피드스루 \| 내부 씰	AI₂O₃ 세라믹 \| 엘라스토머(FPM)

베이크 아웃 온도 범위	≤150°C

전리방사선 내성	-

자기장 내성	-

특징	동축 커넥터

압력 범위	1×10^-10 mbar to 5×10^-3 mbar

피드스루 \| 내부 씰	AI₂O₃ 세라믹 \| 금속

베이크 아웃 온도 범위	≤250°C

전리방사선 내성	10⁷ Gy

자기장 내성	-

특징	동축 커넥터

압력 범위	1×10^-11 mbar to 5×10^-3 mbar
#
피드스루 \| 내부 씰	AI₂O₃ 세라믹 \| 금속
#
베이크 아웃 온도 범위	≤250°C
#
전리방사선 내성	10⁷ Gy
#
자기장 내성	-
#
특징	트라이액스 커넥터

압력 범위	1×10^-8 mbar to 5×10^-3 mbar
#
피드스루 \| 내부 씰	AI₂O₃ 세라믹 \| 금속
#
베이크 아웃 온도 범위	≤230°C
#
전리방사선 내성	10⁷ Gy
#
자기장 내성
축	≤280 mT
방사형	≤180 mT

특징	이중 이온화 챔버 원리 동축 커넥터

패널 보기

VGC094 Front

VGC094 Back

측정 구성

슬롯 A + B

슬롯 C

보드 유형

이중 피라니 측정 보드(PI 300 D, DN 또는 DL)

이중 콜드 캐소드 측정 보드(PE 300 DC9)

피라니 + 콜드 캐소드 조합 측정 보드(CP 300 C9, C10, T11, T11L)

보드 유형

인터페이스 보드

IF 300 A, B, C, P, IF301 P, IF 500 PN

측정 보드 - 피라니

PI 300 D

PI 300 DN

PI 300 DL

측정 채널	이중 피라니(센서 2개)

게이지 유형	PSG010 / PSG018

최대 작동 거리
피라니	≤100 m
콜드 캐소드	-

측정 채널	이중 피라니(센서 2개)

게이지 유형	PSG017

최대 작동 거리
피라니	≤100 m
콜드 캐소드	-

측정 채널	두베 피라니(센서 2개)

게이지 유형	PSG010 / PSG018

최대 작동 거리
피라니	≤500 m
콜드 캐소드	-

측정 보드 - 콜드 캐소드

PE 300 DC9

측정 채널	이중 콜드 캐소드(센서 2개)

게이지 유형	MAG050 / MAG060

최대 작동 거리	-
피라니	-
콜드 캐소드	≤100 m¹⁾
¹⁾ ≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) 더 낮은 측정 범위를 사용하는 경우

측정 보드 - 피라니/콜드 캐소드 조합

CP 300 C9

CP 300 C10

CP 300 T11

CP 300 T11L

측정 채널	피라니 + 콜드 캐소드 조합

게이지 유형	PSG010 or PSG018 MAG050 or MAG60 or MAG084

최대 작동 거리
피라니	≤100 m
콜드 캐소드	≤100 m ¹⁾
¹⁾≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) 더 낮은 측정 범위를 사용하는 경우

측정 채널	피라니 + 콜드 캐소드 조합

게이지 유형	PSG010 or PSG018 MAG050 or MAG60

최대 작동 거리
피라니	≤100 m
콜드 캐소드	≤100 m ¹⁾
¹⁾≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) 더 낮은 측정 범위를 사용하는 경우

측정 채널	피라니 + 콜드 캐소드 조합

게이지 유형	PSG010 or PSG018 MAG070

최대 작동 거리
피라니	≤100 m
콜드 캐소드	≤500 m

측정 채널	피라니 + 콜드 캐소드 조합

게이지 유형	PSG010 or PSG018 MAG070

최대 작동 거리
피라니	≤500 m
콜드 캐소드	≤500 m