1. VGC083 진공 게이지 컨트롤러
Vacuum Gauge Controller

VGC083 진공 게이지 컨트롤러

새로운 인피콘 진공 게이지 컨트롤러 VGC083은 패시브 게이지 헤드 BAG05x 및 PGE050과 함께 2개의 PGE050 게이지와 1개의 BAG05x 게이지를 고정적으로 결합하여 사용하도록 설계되어 있습니다.

VGC083
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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진공 게이지 컨트롤러 VGC083 A/B/C는 대기압부터 초고진공까지 진공 압력 모니터링 및 제어를 위한 3채널 게이지 컨트롤러입니다. 다양한 패시브 게이지 헤드와 결합된 VGC083의 산업용 설계는 넓은 진공 측정 범위가 필요한 진공 어플리케이션에 유연하면서도 안정적이고 경제적인 선택을 제공합니다. 확장된 호환성으로 인해 VGC083은 직접 드롭인 교체가 필요한 기존 시스템에 이상적인 솔루션입니다.

VGC083은 이온화 게이지(핫 캐소드 또는 콜드 캐소드) 1개와 피라니 게이지 2개 등 두 가지 유형의 패시브 센서 디자인 타입 중 최대 3개의 패시브 게이지 헤드를 제어하고 판독하도록 구성할 수 있습니다.

  • VGC083A는 하나의 패시브 핫 캐소드 이온화 Bayard-Alpert BAG050(누드) 또는 BAG055(소형 금속 밀폐형) 게이지 헤드와 두 개의 대류 강화 Pirani PGE050과 함께 사용하도록 설계되었습니다. 
  • VGC083B는 하나의 패시브 핫 캐소드 이온화 Bayard-Alpert BAG051(누드) 또는 BAG052/053(유리 튜브) 게이지 헤드와 2개의 PGE050을 호스팅할 수 있습니다. 
  • VGC083C는 하나의 패시브 인버티드 마그네트론 콜드 캐소드 MAG050/060 게이지 헤드와 두 개의 PGE050을 제어할 수 있습니다.  

6개의 단극 셋 포인트 릴레이를 모든 게이지 헤드에 할당할 수 있습니다. 시스템 통합을 위해 RS232 및 RS485 제어 인터페이스가 내장되어 있습니다.

장점

  • 소프트키를 사용하는 파라미터, 센서 또는 일반 설정을 위한 특수 OLED 디스플레이로 작동이 간편함
  • 먼 거리 진공 압력 판독을 위한 매우 밝고 또렷한 LED 디스플레이
  • 사용자가 임의의 게이지에 할당할 수 있는 3개의 아날로그 출력
  • 게이지 헤드 유형에 따라 게이지 컨디셔닝을 위한 Degas 전자 충격  또는 I2R  저항 가열
  • 원격 디지털 I/O 센서 및 에미션 켜기/끄기
  • 센서 1을 센서 2 또는 3에서 자동으로 켜기/끄기 가능
  • 조정 가능한 히스테리시스 기능이 있는 채널당 3개의 지정 가능 셋포인트
  • RS232 / RS485 통신
  • 6개의 지정 가능 단일 극 더블 스루 셋포인트 릴레이
  • 이온 게이지 과압 방지
  • 대체 액티브 게이지 사용
  • 사용자가 선택할 수 있는 필라멘트

Granville-Phillips® Bayard-Alpert 게이지 컨트롤러 307 및 액세서리를 직접 드롭인 교체 (Granville-Phillips® 및 Mini-Convectron®은 매사추세츠주 앤도버에 소재한 MKS Instruments의 등록 상표)

 

측정 구성

VGC083 Available measurement configurations
VGC083 Available measurement configurations

후면 패널 보기

VGC083 Front
VGC083 Front
VGC083 A / B Backside
VGC083 A / B Backside
VGC083 C Backside
VGC083 C Backside

게이지 개요

BAG050
BAG051
BAG052
BAG053
BAG055
MAG050
MAG060
PGE050
게이지 원리베이야드-알퍼트, 핫 캐소드 이온화
게이지 유형전자 충격(EB) Degas 누드 게이지
압력 범위2.7×10-11 mbar ~ 1.3×10-3 mbar
게이지 원리베이야드-알퍼트, 핫 캐소드 이온화
게이지 유형저항성(I2R) Degas 유리 밀폐형 게이지
압력 범위5.3×10-10 mbar ~ 1.3×10-3 mbar
게이지 원리베이야드-알퍼트, 핫 캐소드 이온화
게이지 유형저항성(I2R) Degas 유리 밀폐형 게이지
압력 범위 5.3×10-10 mbar ~ 1.3×10-3 mbar
게이지 원리베이야드-알퍼트, 핫 캐소드 이온화
게이지 유형저항성(I2R) Degas 유리 밀폐형 게이지
압력 범위5.3×10-10 mbar ~ 1.3×10-3 mbar
게이지 원리베이야드-알퍼트, 핫 캐소드 이온화
게이지 유형미니 금속 밀폐형 이온화 게이지
압력 범위1.3×10-9 mbar ~ 6.7×10-2 mbar
게이지 원리콜드 캐소드
게이지 유형인버티드 마그네트론 
압력 범위2×10-9 mbar ~ 5×10-3 mbar
게이지 원리콜드 캐소드
게이지 유형인버티드 마그네트론 
압력 범위1×10-10 mbar ~ 5×10-3 mbar
게이지 원리피라니
게이지 유형향상된 대류 
압력 범위1.3×10-4 mbar ~ 1333 mbar

사양

VGC083
VGC083
측정 채널3
디스플레이 
압력 표시LED - 3개의 독립적인 압력 표시 채널
프로그래밍 및 설정 화면OLED
측정 범위1 x 10-11 ... 1333  mbar
측정 단위(선택 가능)mbar, Torr, Pa
설정 포인트 릴레이6개의 단극 2중 릴레이(SPDT), 사용자가 모든 게이지에 할당 가능
접점 정격30V(dc)에서 5A, 250V(ac)에서 5A, 저항 부하
아날로그 출력이온 게이지(BAG, MAG), 이온 게이지 및 PGE 조합, 단일 PGE
인터페이스(디지털)RS232, RS4851)
공급 전압(외부)+20 ... +28 V (dc)
작동 온도+0 ... +40 °C

1) GP307과의 명령 프로토콜 호환성

케이블

399-58x PGE050 cable, 50 °C
399-58x PGE050 cable, 50 °C
399-52x PGE050 Cable, 150 °C
399-52x PGE050 Cable, 150 °C
399-78x BAG050/051 nude IG cable, 50 °C
399-78x BAG050/051 nude IG cable, 50 °C
399-77x BAG050/051 nude IG bakeable cable, 200 °C
399-77x BAG050/051 nude IG bakeable cable, 200 °C
399-79x BAG 052/053 glass IG cable, 50 °C
399-79x BAG 052/053 glass IG cable, 50 °C
BAG055 Mini IG cable, 50 °C
399-81x BAG055 Mini IG cable, 50 °C
BAG055 Mini IG cable, 200 °C
399-86x BAG055 Mini IG cable, 200 °C
399-82x MAG050/060 cable, 50 °C
399-82x MAG050/060 cable, 50 °C
399-83x MAG050/060 bakeable cable, 250 °C
399-83x MAG050/060 bakeable cable, 250 °C

파트 넘버

파트 넘버
게이지
케이블 VGC083A
케이블 VGC083B
케이블 VGC083C
399-700VGC083A 진공 게이지 컨트롤러
399-701VGC083B 진공 게이지 컨트롤러
399-702VGC083C 진공 게이지 컨트롤러
  
399-710전원 공급 장치 220 W VGC083 (A & B)1)
399-711전원 공급 장치 60 W VGC083 (C)
399-7141x VGC083x용 랙 마운트 어댑터
399-7152x VGC083x용 랙 마운트 어댑터
  
1) 399-711  BAG055와 함께 사용할 경우 
 BAG050
399-720BA nude EB-degas, DN40CF, dual iridium filament (Ir)
399-721BA nude EB-degas, DN40CF, dual tungsten filament (W)
  
 BAG051
399-725BA nude I2R, DN40CF, single iridium filament (Ir)
399-726BA nude I2R, DN40CF, dual iridium filament (Ir)
399-727BA nude I2R, DN40CF, dual tungsten filament (W)
  
 BAG052
399-740BA glass I2R, ¾’’ Kovar metal inlet port, single iridium filament (Ir)
399-741BA glass I2R, 1’’ Kovar metal inlet port, single iridium filament (Ir)
399-742BA glass I2R, ¾’’ glass inlet port, single iridium filament (Ir)
399-743BA glass I2R, 1’’ glass inlet port, single iridium filament (Ir)
399-744BA glass I2R, DN 25 ISO-KF, single iridium filament (Ir)
399-745BA glass I2R, DN 40 ISO-KF, single iridium filament (Ir)
399-746BA glass I2R, DN 16 ISO-CF, single iridium filament (Ir)
399-747BA glass I2R, DN 40 ISO-CF, single iridium filament (Ir)
  
 BAG053
399-750BA glass I2R, ¾’’ Kovar metal inlet port, dual tungsten filament (W)
399-751BA glass I2R, 1’’ Kovar metal inlet port, dual tungsten filament (W)
399-752BA glass I2R, ¾’’ glass inlet port, dual tungsten filament (W)
399-753BA glass I2R, 1’’ glass inlet port, dual tungsten filament (W)
399-754BA glass I2R, DN 25 ISO-KF, dual tungsten filament (W)
399-755BA glass I2R, DN 40 ISO-KF, dual tungsten filament (W)
399-756BA glass I2R, DN 16 ISO-CF, dual tungsten filament (W)
399-757BA glass I2R, DN 40 ISO-CF, dual tungsten filament (W)
  
 BAG055
399-760BA EB-degas, ¾’’ tube, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-761BA EB-degas, DN 16 ISO-KF, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-762BA EB-degas, DN 25 ISO-KF, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-763BA EB-degas, DN 40 ISO-KF, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-764BA EB-degas, DN 16 CF-R, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-765BA EB-degas, DN 40 CF-R, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-766BA EB-degas, 8 VCR female, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
  
 PGE050
352-500Pirani Gauge, DN ISO 16 KF, tungsten filament (W)
352-501Pirani Gauge, DN ISO 25 KF, tungsten filament (W)
352-502Pirani Gauge, DN ISO 40 KF, tungsten filament (W)
352-503Pirani Gauge, DN ISO 16 CF-R, tungsten filament (W)
352-504Pirani Gauge, DN ISO 40 CF-R, tungsten filament (W)
352-505Pirani Gauge, 4 VCR female, tungsten filament (W)
352-506Pirani Gauge, 8 VCR female, tungsten filament (W)
352-507Pirani Gauge, 1/8 NPT, tungsten filament (W)
  
 MAG050
399-840Cold Cathode Gauge, DN 25 ISO-KF, FPM sealed
399-841Cold Cathode Gauge, DN 40 ISO-KF, FPM sealed
399-842Cold Cathode Gauge, DN 40 CF-F, FPM sealed
  
 MAG060
399-845Cold Cathode Gauge, DN 40 ISO-KF, metal sealed
399-846Cold Cathode Gauge, DN 40 CF-F, metal sealed
 BAG050에 연결되는 케이블
 50 °C
399-7803 m (9.9 ft)
399-7818 m (25 ft)
399-78215 m (50 ft)
  
 200 °C
399-7703 m (9.9 ft)
399-7718 m (25 ft)
399-77215 m (50 ft)
399-779케이블용 터치 보호 커버 200°C (BAG050, BAG051)
  
 BAG055에 연결되는 케이블
 50 °C
399-8103 m (9.9 ft)
399-8118 m (25 ft)
399-81215 m (50 ft)
  
 200 °C 
399-8603 m (9.9 ft)
399-8618 m (25 ft)
399-86215 m (50 ft)
  
 PGE050에 연결되는 케이블
 50 °C
399-5803 m (9.9 ft)
399-5818 m (25 ft)
399-58215 m (50 ft)
  
 150 °C
399-5203 m (9.9 ft)
399-5218 m (25 ft)
399-52215 m (50 ft)
  
399-767케이블 어댑터 MKS/GP® 355 Micro-Ion® - VGC083A
  
 BAG051에 연결되는 케이블
 50 °C
399-7803 m (9.9 ft)
399-7818 m (25 ft)
399-78215 m (50 ft)
  
 200 °C
399-7703 m (9.9 ft)
399-7718 m (25 ft)
399-77215 m (50 ft)
399-779케이블용 터치 보호 커버 200°C (BAG050, BAG051)
  
  BAG052/053에 연결되는 케이블
 50 °C
399-7903 m (9.9 ft)
399-7918 m (25 ft)
399-79215 m (50 ft)
  
 PGE050에 연결되는 케이블
 50 °C
399-5803 m (9.9 ft)
399-5818 m (25 ft)
399-58215 m (50 ft)
  
 150 °C
399-5203 m (9.9 ft)
399-5218 m (25 ft)
399-52215 m (50 ft)
  
 MAG050/060에 연결되는 케이블
 80 °C
399-8203 m (9.9 ft)
399-8218 m (25 ft)
399-82215 m (50 ft)
  
 250 °C
399-8303 m (9.9 ft)
399-8318 m (25 ft)
399-83215 m (50 ft)
  
 PGE050에 연결되는 케이블
 50 °C
399-5803 m (9.9 ft)
399-5818 m (25 ft)
399-58215 m (50 ft)
  
 150 °C
399-5203 m (9.9 ft)
399-5218 m (25 ft)
399-52215 m (50 ft)
  
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