진공 스위치
VSA100A
주변보다 3mbar 낮은 설정값
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON 진공 스위치 VSA100A는 진공 시스템의 안전 스위치로 사용됩니다. 예를 들어, 대기압보다 6mbar 아래 기압에서 순수 가스로 진공 시스템을 환기시킬 때 가스 공급을 자동으로 중단합니다. 대기압보다 3 mbar 낮은 전환 압력을 반환하는 6 mbar의 차동 압력에서 탄성 격막은 부속 장비를 직접 전환하는 데 사용될 수 있는 전환 접점을 작동시킵니다.
장점
- 신뢰할 수 있고 저렴한 진공 스위치
- 긴 수명
- 견고한 디자인
- 간편한 통합 방식
- IP 44 보호
일반적인 응용 분야
- 로드록 챔버 제어
- 진공 시스템의 안전 정지
사양서
| 스위칭 압력 | mbar | 6 ±2 (below atmosphere) |
| 백 스위칭 | mbar | 3 ±2 (below atmosphere) |
| 작동 압력(절대압) | bar | <2 |
| 보호 유형 | IP 44 | |
| 진공에 노출된 재료 | stainless steel 1.4305, EPDM, PTFE (Teflon)
| |
| 기술 참고 정보: 사용된 격막 재료(EPDM)로 인해 진공 스위치 VSA100A는 공정 가스에 대량의 헬륨이 포함되는 분야에는 적합하지 않습니다. 헬륨에 대한 다이어프램 누출률은 -6 mbar l/s입니다. | ||
파트 넘버
| Part Number | Description |
| 399-001 | VSA100A Vacuum Switch DN16KF, 3m Cable |
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