진공 스위치
VSA200 절대압 스위치
셋포인트 범위 20 ~ 970 Torr
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON 진공 스위치는 정확하고 믿을 수 있는 압력을 탐지하도록 설계되었습니다. 이러한 견고한 전자 스위치는 압력 인터록을 포함하여 모든 진공 응용 분야에서 사용됩니다. 스위치는 절대(진공 기준) 또는 차동(주변 기준)의 두 가지 버전으로 사용할 수 있습니다.
특징
- IP 44 보호
- 무위상 접점을 가진 릴레이 출력
- 고정밀 온도 보상 센서
- 압력 범위 1×10-9 mbar … 2 bar
장점
- 내부식성 전체 스테인레스강 설계
- 견고한 디자인, 청정실 규격
- 셋포인트가 공장에서 사전 설정되거나 현장에서 조정 가능하여 설치가 간편함
일반적인 응용 분야
- 모든 진공 분야에 적합한 대기압 감지 기능
- 압력 인터록(전원 공급, 가스 공급, 펌프, 밸브, 액추에이터 등)
- 진공 ~ 고진공
사양서
1100 mbar
1000 Torr
| 셋포인트 범위 | mbar Torr | 30 … 1060 - |
| 허용 압력 | bar (absolute) | 5 |
| 셋포인트 정확도 | Torr | ± 5 |
| 응답 시간 | ms | ≤45 |
| 히스테리시스 | Torr | 20 |
| 셋포인트 범위 | mbar Torr | – 20 … 970 |
| 허용 압력 | bar (absolute) | 5 |
| 셋포인트 정확도 | Torr | ± 5 |
| 응답 시간 | ms | ≤45 |
| 히스테리시스 | Torr | 20 |
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