진공 스위치
VSC150A
셋포인트 범위 0.5 ~ 2000mbar
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON 진공 스위치 VSC150은 0.5~2000 mbar 범위로 조절 가능한 전기 전환 접점이 있는 절대 압력 스위치입니다. 기계 설계는 ±0.1 mbar의 전환 정확성을 떨어뜨리지 않고 3000 mbar의 단기 열 과부하를 허용합니다. INFICON은 고객 특정 압력 스위치 조절을 제공합니다.
특징
- 레퍼런스 챔버의 스위칭 접점(상시 닫힘)을 통해 공정 매체에 대해 보호됨
- 스위칭 증폭기 사용 시 향상된 스위칭 성능
- 차압 측정에 사용 가능한 어댑터
장점
- 높은 스위칭 정확성(± 0.1 mbar)
- 안정적인 장기 작동 특성
- 견고한 내부식성 설계
일반적인 응용 분야
- 밸브, 펌프, 전원 공급장치를 제어하기 위한 압력 스위치 또는 차압 스위치
- 로드록 챔버
- 공정 챔버
사양서
| 스위칭 범위 | mbar | 0.5 … 2000 |
| 매체 접촉 재료 | ||
| 볼륨 감지 | 볼륨 감지 | Stainless steel 1.4301, 1.4401, 1.4310, 1.3541, FPM75 |
| 참조 볼륨 | 참조 볼륨 | Stainless steel 1.4301, 1.4401, 1.3541, glass, gold |
| 과부하 한계 | mbar | 3000 |
| 스위칭 히스테리시스 | mbar | 0.5 |
| 보호 범주 | IP 65 |
파트 넘버
악세사리
| 파트 넘버 | 설명 |
| 399-005 | VSC150 Vacuum Switch |
| 파트 넘버 | 설명 |
| 399-008 | Switching Amplifer for VSC150 |
| 399-006 | Setpoint-adjustment for VSC150 |
| 399-007 | Differentialpressure-Adapter for VSC150 |
치수
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VSC150A Absolute Switch (passiv) Datasheet
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매뉴얼
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