콜드 캐소드 이온 게이지
인피콘의 콜드 캐소드 이온 게이지는 견고하고 유지보수가 용이한 진공 측정을 위한 완벽한 솔루션입니다. 까다로운 어플리케이션 분야에서도 안정성과 신뢰성을 보장합니다.
측정 범위(mbar)
1 E-9 … 1 E-3
1 E-9 … atm
1 E-11 … 1 E-3
디지털 인터페이스
EtherCAT
PROFINET
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광학 가스 분석 및 총 압력 측정을 위한 듀얼 게이지
Augent® OPG550
INFICON Augent® 광학 플라즈마 게이지는 진공 모니터링을 위한 소형 지능형 솔루션입니다.
Augen® OPG550
- 고속 누설 감지로 챔버 누설 테스트 가능
- 생산성 및 수율 증가
- 긴 수명, 필라멘트 연소 없음, 빠른 공기 유입 방지
- 공정 화학물질에 대한 내구성
Cold Cathode Gauges
Gemini® MxG5xx
INFICON Gemini® 전환형 마그네트론 진공 게이지는 모든 진공 측정 분야에 적용 가능한 장치입니다(진행 중).
GEMINI® MXG5XX ATM~초고진공 게이지
- Long lifetime in harsh environments
- 혹독한 환경에서 긴 수명 유지
- 낮은 누출 자계
- 유지보수 필요 없음 - 교체 가능한 부속품
Cold Cathode Gauges
MAG470
Inverted Magnetron Vacuum Gauge is for all ultra high vacuum applications, measurement range from 5x10-11 mbar
MAG470
- Measurement range down to 5x10-11 mbar
- Extended version, sensor bakeout up to 250°C
- Excellent ignition properties
- Easy to clean
Cold Cathode Gauges
MPG40X
INFICON 전환형 마그네트론 피라니 게이지인 MPG400 및 MPG401은 5 x 10-9 mbar ~ 대기(3.8 x 10-9 Torr ~ 대기)를 측정합니다.
MPG40X ATM~초고진공 게이지
- 조합 게이지 – 전환형 마그네트론 및 Pirani
- 5 x 10-9 mbar ~ 대기의 광범위한 측정 범위
- 단선될 필라멘트 없음
- 뛰어난 점화 특성
저온 캐소드 게이지
MAG084
게이지 헤드 MAG084는 진공 게이지 컨트롤러 VGC094와 함께 작동하도록 설계된 고유한 자기장 내성 역마그네트론 냉음극 게이지입니다.
MAG084
- 강한 외부 자기장에서도 작동을 지속하도록 개발됨
- 역 마그네트론 원리에 기반한 안정적이고 검증된 게이지 헤드 설계
- 혁신적인 이중 이온화 챔버 원리
- 230°C까지 베이킹 가능