진공 피드스루
금속 세라믹 연결
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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장점
- 고급 재료를 통해 최대 400°C까지 반복 베이킹 가능
- 2011/65/EU RoHS 준수
사양
3 kV
2 kV
5 kV
10 kV
전압 1) | 3 kV | |
절연체 | Al2O3 | |
연결 | ||
a | Fe-Ni | |
b | Fe-Ni | |
베이크 아웃 온도 | °C | 400 |
기밀성 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
무게 | g | 5 |
1) 양쪽 대기에서의 공기 및 표면 누설에 대해 VDE 0110을 기반으로 함. | ||
압력이 10⁻⁴ mbar 미만일 경우 값이 최대 두 배까지 허용됨.
|
전압 1) | 2 kV | |
절연체 | Al2O3 | |
연결 | ||
a | Fe-Co | |
b | 스테인레스 스틸 304/1.4301 | |
베이크 아웃 온도 | °C | 400 |
기밀성 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
무게 | g | 12 |
1) 양쪽 대기에서의 공기 및 표면 누설에 대해 VDE 0110을 기반으로 함. | ||
압력이 10⁻⁴ mbar 미만일 경우 값이 최대 두 배까지 허용됨.
|
전압 1) | 5 kV | |
절연체 | Al2O3 | |
연결 | ||
a | Fe-Co | |
b | 스테인레스 스틸 304/1.4301 | |
베이크 아웃 온도 | °C | 400 |
기밀성 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
무게 | g | 25 |
1) 양쪽 대기에서의 공기 및 표면 누설에 대해 VDE 0110을 기반으로 함. | ||
압력이 10⁻⁴ mbar 미만일 경우 값이 최대 두 배까지 허용됨.
|
전압 1) | 10 kV | |
절연체 | Al2O3 | |
연결 | ||
a | Fe-Ni | |
b | 스테인레스 스틸 304/1.4301 | |
베이크 아웃 온도 | °C | 400 |
기밀성 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
무게 | g | 90 |
1) 양쪽 대기에서의 공기 및 표면 누설에 대해 VDE 0110을 기반으로 함. | ||
압력이 10⁻⁴ mbar 미만일 경우 값이 최대 두 배까지 허용됨.
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파트 넘버
설명 | |
214-161 | Metal Ceramic Connections, 3 kV Connector |
214-162 | Metal Ceramic Connections, 2 kV Connector |
214-163 | Metal Ceramic Connections, 5 kV Connector |
214-164 | Metal Ceramic Connections, 10 kV Connector |
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Metall-Keramik-Anschlüsse 2kV bis 10kV DE
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Metal Cermaic Connections 2kV to 10kV EN
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Conexiones de cerámica de metal 2kV a 10kV ES
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金属セラミック接続 2kV ~ 10kV JA
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金属陶瓷连接 2kV 至 10kV ZH
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금속 세라믹 연결부 2kV ~ 10kV KO
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