진공 피드스루
로터리/선형 동작 피드스루
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON의 매우 다양한 기계식 피드스루는 모든 까다로운 분야(예: 코팅 분야 챔버 또는 실험실 조건 하에 적용되는 연구 프로젝트)에 적합한 장치를 제공합니다.
사용 가능한 플랜지 설계 ISO-KF/ISO-K 및 CF는 당사 피팅 라인에 해당합니다. 모든 피드스루는 누출률 최대 1 x 10-9 mbar•l/s인 진공 시스템에서 작동하기에 적합합니다. UHV의 경우 모든 금속 설계 피드스루도 사용할 수 있습니다.
장점
- 2개의 FPM 축 씰
- 다이렉트 푸시/풀 및 로터리 작동
- 잠금 링 및 옵션 회전 방지 장치 포함
- 2011/65/EU RoHS 준수
사양
FCH016-H
FCH025-H
FCH040-H
| 진공 연결 | DN16 ISO-KF | |
| 피드스루/씰 | FPM | |
| 샤프트 연결 | M3/Ø5mm | |
| 이동 거리 | mm | 50 |
| 샤프트 하중 | ||
| 최대 이동거리에서 반경 방향 힘 | N | 10 |
| 비틀림 토크 | Nm | 2 |
| 기밀성, 정적 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 압력(절대) | 1 x 10-8 mbar...1bar | |
| 작동 온도 | °C | 50 |
| 베이크 아웃 온도 | °C | 110 |
| 공정 매체에 노출된 재료 | 스테인레스 스틸 304/1.4301, 알루미늄 6082 | |
무게
| kg | 0.1 |
치수 도면
| 진공 연결 | DN25 ISO-KF | |
| 피드스루/씰 | FPM | |
| 샤프트 연결 | M4/Ø8mm | |
| 이동 거리 | mm | 100 |
| 샤프트 하중 | ||
| 최대 이동거리에서 반경 방향 힘 | N | 15 |
| 비틀림 토크 | Nm | 8 |
| 기밀성, 정적 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 압력(절대) | 1 x 10-8 mbar...1bar | |
| 작동 온도 | °C | 50 |
| 베이크 아웃 온도 | °C | 110 |
| 공정 매체에 노출된 재료 | 스테인레스 스틸 304/1.4301, 알루미늄 6082 | |
무게
| kg | 0.2 |
치수 도면
파트 넘버
| 파트 넘버 | 설명 |
| FCH016-H | |
| 214-320 | Rotary/linear feedthrough, DN16 ISO-KF |
| 214-072 | Anti-rotation device, DN16 ISO-KF |
| FCH025-H | |
| 214-322 | Rotary/linear feedthrough, DN25 ISO-KF |
| 214-073 | Anti-rotation device, DN25 ISO-KF |
| FCH040-H | |
| 214-324 | Rotary/linear feedthrough, DN40 ISO-KF |
| 214-074 | Anti-rotation device, DN40 ISO-KF |
다운로드
데이터시트
Dreh-/Schiebedurchführungen ISO-KF DE
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Rotary/Linear Motion Feedthroughs ISO-KF EN
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Terminales de paso de movimiento lineal/giratorio ISO-KF ES
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回転式/直線状モーションフィードスルー ISO-KF JA
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旋转/直线运动馈入装置 ISO-KF ZH
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로터리/선형 동작 피드스루 ISO-KF KO
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