진공 피드스루
로터리 피드스루
ACADEMY
산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!
INFICON의 매우 다양한 기계식 피드스루는 모든 까다로운 분야(예: 코팅 분야 챔버 또는 실험실 조건 하에 적용되는 연구 프로젝트)에 적합한 장치를 제공합니다.
사용 가능한 플랜지 설계 ISO-KF/ISO-K 및 CF는 당사 피팅 라인에 해당합니다. 모든 피드스루는 누출률 최대 1 x 10-9 mbar•l/s인 진공 시스템에서 작동하기에 적합합니다. UHV의 경우 모든 금속 설계 피드스루도 사용할 수 있습니다.
장점
- 벨로우즈 씰링
- 순금속 버전
- 매우 까다로운 진공 요건에 적합
- 2011/65/EU RoHS 준수
사양
FRU016-H
FRU040-N
FRU040-L
| 진공 연결 | DN16 ISO-CF-F | |
| 피드스루/씰 | 벨로우즈 | |
| 샤프트 연결 | mm | 4 |
| 전달 가능한 토크 | ||
| 동적 | Nm | 0.4 |
| 동적, 300°C에서 | Nm | 0.2 |
| 정적 | Nm | 0.2 |
| 회전 속도 | rpm | 200 |
| 최대 토크에서 | rpm | ─ |
| 샤프트 하중 진공 측면 | ||
| 반경 방향 힘 | N | 10 |
| 축 방향 힘 | N | 5 |
| 서비스 수명 | 회전 횟수 | 1'000'000 |
| 스케일 분할 | 정도 | 10 |
| 기밀성 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
| 압력(절대) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| 작동 온도 | °C | 300 |
| 베이크 아웃 온도 | °C | 300 |
| 공정 매체에 노출된 재료 | 스테인레스 스틸 304L/1.4306, 스테인레스 스틸 304/1.4301, –/2.4360 | |
무게
| kg | 0.3 |
| 진공 연결 | DN40 ISO-CF-F | |
| 피드스루/씰 | 벨로우즈 | |
| 샤프트 연결 | mm | 8 |
| 전달 가능한 토크 | ||
| 동적 | Nm | 4 |
| 동적, 300°C에서 | Nm | 2 |
| 정적 | Nm | 3 |
| 회전 속도 | rpm | 1000 |
| 최대 토크에서 | rpm | 500 |
| 샤프트 하중 진공 측면 | ||
| 반경 방향 힘 | N | 60 |
| 축 방향 힘 | N | 20 |
| 서비스 수명 | 회전 횟수 | 2'000'000 |
| 스케일 분할 | 정도 | ─ |
| 기밀성 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
| 압력(절대) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| 작동 온도 | °C | 300 |
| 베이크 아웃 온도 | °C | 300 |
| 공정 매체에 노출된 재료 | 스테인레스 스틸 304L/1.4306, 스테인레스 스틸 304/1.4301, | |
무게
| kg | 1.5 |
| 진공 연결 | DN40 ISO-CF-F | |
| 피드스루/씰 | 벨로우즈 | |
| 샤프트 연결 | mm | 12 |
| 전달 가능한 토크 | ||
| 동적 | Nm | 10 |
| 동적, 300°C에서 | Nm | 2 |
| 정적 | Nm | 5 |
| 회전 속도 | rpm | 500 |
| 최대 토크에서 | rpm | 300 |
| 샤프트 하중 진공 측면 | ||
| 반경 방향 힘 | N | 100 |
| 축 방향 힘 | N | 30 |
| 서비스 수명 | 회전 횟수 | 1'000'000 |
| 스케일 분할 | 정도 | ─ |
| 기밀성 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
| 압력(절대) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| 작동 온도 | °C | 300 |
| 베이크 아웃 온도 | °C | 300 |
| 공정 매체에 노출된 재료 | 스테인레스 스틸 304L/1.4306, 스테인레스 스틸 304/1.4301, 스테인레스 스틸 303/1.4305 | |
무게
| kg | 3.0 |
파트 넘버
| 파트 넘버 | 설명 |
| 214-310 | Rotary feedthrough, FRU016-H, DN16 ISO-CF-F |
| 214-312 | Rotary feedthrough, FRU040-N, DN40 ISO-CF-F |
| 214-314 | Rotary feedthrough, FRU040-L, DN40 ISO-CF-F |
다운로드
데이터시트
Drehdurchführungen CF DE
pdf
•
310,1 KB
•
독일어
•
데이터시트
Rotary Feedthroughs CF EN
pdf
•
309,5 KB
•
영어
•
데이터시트
Terminales de paso de giro CF ES
pdf
•
310,0 KB
•
스페인어
•
데이터시트
回転式フィードスルー CF JA
pdf
•
411,1 KB
•
일본어
•
데이터시트
旋转馈入装置 CF ZH
pdf
•
395,3 KB
•
중국어
•
데이터시트
로터리 피드스루 CF KO
pdf
•
350,1 KB
•
한국어
•
데이터시트
