진공 피드스루
로터리 피드스루
ACADEMY
산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?
INFICON의 매우 다양한 기계식 피드스루는 모든 까다로운 분야(예: 코팅 분야 챔버 또는 실험실 조건 하에 적용되는 연구 프로젝트)에 적합한 장치를 제공합니다.
사용 가능한 플랜지 설계 ISO-KF/ISO-K 및 CF는 당사 피팅 라인에 해당합니다. 모든 피드스루는 누출률 최대 1 x 10-9 mbar•l/s인 진공 시스템에서 작동하기에 적합합니다. UHV의 경우 모든 금속 설계 피드스루도 사용할 수 있습니다.
장점
- 벨로우즈 씰링
- 순금속 버전
- 매우 까다로운 진공 요건에 적합
- 2011/65/EU RoHS 준수
사양
FRU016-H
FRU040-N
FRU040-L
| 진공 연결 | DN16 ISO-CF-F | |
| 피드스루/씰 | 벨로우즈 | |
| 샤프트 연결 | mm | 4 |
| 전달 가능한 토크 | ||
| 동적 | Nm | 0.4 |
| 동적, 300°C에서 | Nm | 0.2 |
| 정적 | Nm | 0.2 |
| 회전 속도 | rpm | 200 |
| 최대 토크에서 | rpm | ─ |
| 샤프트 하중 진공 측면 | ||
| 반경 방향 힘 | N | 10 |
| 축 방향 힘 | N | 5 |
| 서비스 수명 | 회전 횟수 | 1'000'000 |
| 스케일 분할 | 정도 | 10 |
| 기밀성 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
| 압력(절대) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| 작동 온도 | °C | 300 |
| 베이크 아웃 온도 | °C | 300 |
| 공정 매체에 노출된 재료 | 스테인레스 스틸 304L/1.4306, 스테인레스 스틸 304/1.4301, –/2.4360 | |
무게
| kg | 0.3 |
| 진공 연결 | DN40 ISO-CF-F | |
| 피드스루/씰 | 벨로우즈 | |
| 샤프트 연결 | mm | 8 |
| 전달 가능한 토크 | ||
| 동적 | Nm | 4 |
| 동적, 300°C에서 | Nm | 2 |
| 정적 | Nm | 3 |
| 회전 속도 | rpm | 1000 |
| 최대 토크에서 | rpm | 500 |
| 샤프트 하중 진공 측면 | ||
| 반경 방향 힘 | N | 60 |
| 축 방향 힘 | N | 20 |
| 서비스 수명 | 회전 횟수 | 2'000'000 |
| 스케일 분할 | 정도 | ─ |
| 기밀성 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
| 압력(절대) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| 작동 온도 | °C | 300 |
| 베이크 아웃 온도 | °C | 300 |
| 공정 매체에 노출된 재료 | 스테인레스 스틸 304L/1.4306, 스테인레스 스틸 304/1.4301, | |
무게
| kg | 1.5 |
| 진공 연결 | DN40 ISO-CF-F | |
| 피드스루/씰 | 벨로우즈 | |
| 샤프트 연결 | mm | 12 |
| 전달 가능한 토크 | ||
| 동적 | Nm | 10 |
| 동적, 300°C에서 | Nm | 2 |
| 정적 | Nm | 5 |
| 회전 속도 | rpm | 500 |
| 최대 토크에서 | rpm | 300 |
| 샤프트 하중 진공 측면 | ||
| 반경 방향 힘 | N | 100 |
| 축 방향 힘 | N | 30 |
| 서비스 수명 | 회전 횟수 | 1'000'000 |
| 스케일 분할 | 정도 | ─ |
| 기밀성 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
| 압력(절대) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| 작동 온도 | °C | 300 |
| 베이크 아웃 온도 | °C | 300 |
| 공정 매체에 노출된 재료 | 스테인레스 스틸 304L/1.4306, 스테인레스 스틸 304/1.4301, 스테인레스 스틸 303/1.4305 | |
무게
| kg | 3.0 |
파트 넘버
| 파트 넘버 | 설명 |
| 214-310 | Rotary feedthrough, FRU016-H, DN16 ISO-CF-F |
| 214-312 | Rotary feedthrough, FRU040-N, DN40 ISO-CF-F |
| 214-314 | Rotary feedthrough, FRU040-L, DN40 ISO-CF-F |
다운로드
데이터시트
Drehdurchführungen CF DE
pdf
•
310,1 KB
•
독일어
•
데이터시트
Rotary Feedthroughs CF EN
pdf
•
309,5 KB
•
영어
•
데이터시트
Terminales de paso de giro CF ES
pdf
•
310,0 KB
•
스페인어
•
데이터시트
回転式フィードスルー CF JA
pdf
•
411,1 KB
•
일본어
•
데이터시트
旋转馈入装置 CF ZH
pdf
•
395,3 KB
•
중국어
•
데이터시트
로터리 피드스루 CF KO
pdf
•
350,1 KB
•
한국어
•
데이터시트
