진공 피드스루

로터리 피드스루 ISO-KF/ISO-K

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인피콘의 매우 다양한 기계식 피드스루는 모든 까다로운 분야(예: 코팅 분야 챔버 또는 실험실 조건 하에 적용되는 연구 프로젝트)에 적합한 장치를 제공합니다.

사용 가능한 플랜지 설계 ISO-KF/ISO-K 및 CF는 당사 피팅 라인에 해당합니다. 모든 피드스루는 누설률 최대 1 x 10^-9 mbar l/s인 진공 시스템에서 작동하기에 적합합니다. UHV의 경우 모든 금속 설계 피드스루도 사용할 수 있습니다.

장점

FRH016-H

FRH025-H

FRH040-H

FRH063-H

진공 연결		DN16 ISO-KF

피드스루/씰		FPM

샤프트 측정	mm	Ø5

전달 가능한 토크	nm	1.5

회전 속도(1)	RPM	1500

진공 상태에서 공회전 토크	N•cm	≤ 3

진공 상태에서 시동 토크	N•cm	≤ 6

샤프트 하중 진공 측면
반경 방향 힘	N	60
축 방향 힘	N	30

서비스 수명	회전 횟수	20 000 000

기밀성, 정적	mbar•l/s	1 x 10^-9

압력(절대)		1 x 10^-9 mbar ... 1 bar

작동 온도	°C	50

베이크 아웃 온도	°C	110

공정 매체에 노출된 재료		스테인리스 스틸 420/1.4021, 알루미늄 6082, 엘라스토머 FPM

무게	kg	0.1

(1) 서비스 수명 단축이 허용되는 경우 회전을 최대 두 배까지 늘릴 수 있습니다.
(2) DN63 ISO-K 관련
센터링 링은 배송에 포함되어 있지 않습니다, CR 알루미늄 파트 넘버 212-251 / FPM 스테인리스 스틸 파트 넘버 212-281 .

진공 연결		DN25 ISO-KF

피드스루/씰		FPM

샤프트 측정	mm	Ø8

전달 가능한 토크	nm	6

회전 속도(1)	RPM	1000

진공 상태에서 공회전 토크	N•cm	≤ 4

진공 상태에서 시동 토크	N•cm	≤ 8

샤프트 하중 진공 측면
반경 방향 힘	N	150
축 방향 힘	N	50

서비스 수명	회전 횟수	20 000 000

기밀성, 정적	mbar•l/s	1 x 10^-9

압력(절대)		1 x 10^-9 mbar ... 1 bar

작동 온도	°C	50

베이크 아웃 온도	°C	110

공정 매체에 노출된 재료		스테인리스 스틸 420/1.4021, 알루미늄 6082, 엘라스토머 FPM

무게	kg	0.2

(1) 서비스 수명 단축이 허용되는 경우 회전을 최대 두 배까지 늘릴 수 있습니다.
(2) DN63 ISO-K 관련
센터링 링은 배송에 포함되어 있지 않습니다, CR 알루미늄 파트 넘버 212-251 / FPM 스테인리스 스틸 파트 넘버 212-281 .

진공 연결		DN40 ISO-KF

피드스루/씰		FPM

샤프트 측정	mm	Ø12

전달 가능한 토크	nm	25

회전 속도(1)	RPM	750

진공 상태에서 공회전 토크	N•cm	≤ 5

진공 상태에서 시동 토크	N•cm	≤ 10

샤프트 하중 진공 측면
반경 방향 힘	N	250
축 방향 힘	N	60

서비스 수명	회전 횟수	20 000 000

기밀성, 정적	mbar•l/s	1 x 10^-9

압력(절대)		1 x 10^-9 mbar ... 1 bar

작동 온도	°C	50

베이크 아웃 온도	°C	110

공정 매체에 노출된 재료		스테인리스 스틸 420/1.4021, 알루미늄 6082, 엘라스토머 FPM

무게	kg	0.6

(1) 서비스 수명 단축이 허용되는 경우 회전을 최대 두 배까지 늘릴 수 있습니다.
(2) DN63 ISO-K 관련
센터링 링은 배송에 포함되어 있지 않습니다, CR 알루미늄 파트 넘버 212-251 / FPM 스테인리스 스틸 파트 넘버 212-281 .

진공 연결		DN63 ISO-KF

피드스루/씰		FPM

샤프트 측정	mm	Ø20

전달 가능한 토크	nm	100

회전 속도(1)	RPM	500

진공 상태에서 공회전 토크	N•cm	≤ 10

진공 상태에서 시동 토크	N•cm	≤ 20

샤프트 하중 진공 측면
반경 방향 힘	N	500
축 방향 힘	N	100

서비스 수명	회전 횟수	10 000 000

기밀성, 정적	mbar•l/s	1 x 10^-9

압력(절대)		1 x 10^-9 mbar ... 1 bar

작동 온도	°C	50

베이크 아웃 온도	°C	110

공정 매체에 노출된 재료		스테인리스 스틸 420/1.4021, 알루미늄 6082, 엘라스토머 FPM

무게	kg	2

(1) 서비스 수명 단축이 허용되는 경우 회전을 최대 두 배까지 늘릴 수 있습니다.
(2) DN63 ISO-K 관련
센터링 링은 배송에 포함되어 있지 않습니다, CR 알루미늄 파트 넘버 212-251 / FPM 스테인리스 스틸 파트 넘버 212-281 .

전체 사양 다운로드

FRH016-H
214-300	FRH016-H Rotary feedthrough DN16 ISO-KF

FRH025-H
214-302	FRH025-H Rotary feedtrough DN25 ISO-KF

FRH040-H
214-304	FRH040-H Rotary feedtrough DN40 ISO-KF
214-347	FRH040-H Rotary feedtrough DN40 ISO-KF

FRH063-H
214-306	FRH063-H Rotary feedthrough DN63 ISO-K