진공 피드스루
선형 동작 피드스루
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON의 매우 다양한 기계식 피드스루는 모든 까다로운 분야(예: 코팅 분야 챔버 또는 실험실 조건 하에 적용되는 연구 프로젝트)에 적합한 장치를 제공합니다.
사용 가능한 플랜지 설계 ISO-KF/ISO-K 및 CF는 당사 피팅 라인에 해당합니다. 모든 피드스루는 누출률 최대 1 x 10-9 mbar•l/s인 진공 시스템에서 작동하기에 적합합니다. UHV의 경우 모든 금속 설계 피드스루도 사용할 수 있습니다.
장점
- 점차 늘어나는 진공 요건을 충족하기 위해 벨로우즈 포함
- 다이렉트 푸시 앤 풀 작동
- 미동측정 나사를 사용하여 고정밀 조정
- 2011/65/EU RoHS 준수
사양
FPU016-H
FPU040-H
FPU016-Z
FPU040-Z
| 진공 연결 | DN16 ISO-CF-R | |
| 피드스루/씰 | 벨로우즈 | |
| 샤프트 연결 | M4x16 mm | |
| 액추에이터 | 매뉴얼 | |
| 이동 거리 | mm | 25 |
| 회전당 이동 거리 | mm | |
| 스케일 분할 | mm | 5 |
| 샤프트 하중 | ||
| 최대 반경 방향 힘 | N | 20 |
| 축 방향 힘 진공 | N | 85 |
| 기압에 대한 축 방향 힘 | N | 100 |
| 비틀림 토크 | Nm | 0.2 |
| 기밀성 | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
| 압력(절대) | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
| 베이크 아웃 온도 | ||
| 피드스루 | °C | 300 |
| 마이크로미터 나사 | °C | |
| 공정 매체에 노출된 재료 | 스테인레스 스틸 304L/1.4306, 스테인레스 스틸 316Ti/1.4571 | |
무게
| kg | 0.15 |
| 진공 연결 | DN40 ISO-CF-R | |
| 피드스루/씰 | 벨로우즈 | |
| 샤프트 연결 | M6x10 mm, Ø10 mm | |
| 액추에이터 | 매뉴얼 | |
| 이동 거리 | mm | 50 |
| 회전당 이동 거리 | mm | |
| 스케일 분할 | mm | 10 |
| 샤프트 하중 | ||
| 최대 반경 방향 힘 | N | 100 |
| 축 방향 힘 진공 | N | 140 |
| 기압에 대한 축 방향 힘 | N | 200 |
| 비틀림 토크 | Nm | 0.5 |
| 기밀성 | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
| 압력(절대) | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
| 베이크 아웃 온도 | ||
| 피드스루 | °C | 300 |
| 마이크로미터 나사 | °C | |
| 공정 매체에 노출된 재료 | 스테인레스 스틸 304L/1.4306, 스테인레스 스틸 316Ti/1.4571 | |
무게
| kg | 0.75 |
| 진공 연결 | DN16 ISO-CF-R | |
| 피드스루/씰 | 벨로우즈 | |
| 샤프트 연결 | M4x16 mm | |
| 액추에이터 | 마이크로미터 나사 | |
| 이동 거리 | mm | 20 |
| 회전당 이동 거리 | mm | 0.5 |
| 스케일 분할 | mm | 0.01 |
| 샤프트 하중 | ||
| 최대 반경 방향 힘 | N | 20 |
| 축 방향 힘 진공 | N | 185 |
| 기압에 대한 축 방향 힘 | N | 200 |
| 비틀림 토크 | Nm | 0.2 |
| 기밀성 | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
| 압력(절대) | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
| 베이크 아웃 온도 | ||
| 피드스루 | °C | 300 |
| 마이크로미터 나사 | °C | 100 |
| 공정 매체에 노출된 재료 | 스테인레스 스틸 304L/1.4306, 스테인레스 스틸 316Ti/1.4571 | |
무게
| kg | 0.25 |
| 진공 연결 | DN40 ISO-CF-R | |
| 피드스루/씰 | 벨로우즈 | |
| 샤프트 연결 | M6x10mm, Ø10 mm | |
| 액추에이터 | 마이크로미터 나사 | |
| 이동 거리 | mm | 50 |
| 회전당 이동 거리 | mm | 1 |
| 스케일 분할 | mm | 0.005 |
| 샤프트 하중 | ||
| 최대 반경 방향 힘 | N | 100 |
| 축 방향 힘 진공 | N | 440 |
| 기압에 대한 축 방향 힘 | N | 500 |
| 비틀림 토크 | Nm | 0.5 |
| 기밀성 | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
| 압력(절대) | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
| 베이크 아웃 온도 | ||
| 피드스루 | °C | 300 |
| 마이크로미터 나사 | °C | 100 |
| 공정 매체에 노출된 재료 | 스테인레스 스틸 304L/1.4306, 스테인레스 스틸 316Ti/1.4571 | |
무게
| kg | 1 |
파트 넘버
| 파트 넘버 | 설명 |
| 214-330 | Linear Motion Feedthrough, FPU016-H, DN16 ISO-CF-R |
| 214-332 | Linear Motion Feedthrough, FPU040-H, DN40 ISO-CF-R |
| 214-334 | Linear Motion Feedthrough, FPU016-Z, DN16 ISO-CF-R |
| 214-336 | Linear Motion Feedthrough, FPU040-Z, DN40 ISO-CF-R |
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直线运动馈入装置 CF ZH
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