진공 피드스루
전기 피드스루
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON은 수년 동안 전 세계 모든 표준 진공 분야에 진출하여 경제적인 가격의 ISO-KF 플랜지 피드스루를 제공해 왔습니다. 이 피드스루 이외에도 진공 챔버의 진공 및 대기용 커넥터 선택을 구성할 수 있습니다.
UHV 분야의 경우 CF 플랜지 피드스루는 다양한 크기와 기술 사양으로 제공됩니다.
장점
- 2011/65/EU RoHS 준수
사양
ATM 커넥터가 있는 피드스루 4개
ATM 커넥터가 있는 피드스루 9개
ATM 및 진공 커넥터가 있는 피드스루 9개
| 진공 연결 | DN16 ISO-KF | |
| 피드스루 수 | 4 | |
| 폴당 전압 | V | 50 |
| 폴당 전류 | A | 1 |
| 연결 | ||
| 진공 측 | 납땜 연결 | |
| 대기 측 | 커넥터 | |
| 연결선의 직경 | mm | 0.6 |
| 기밀성 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 압력(절대) | 1 x 10-8 mbar...2.5 bar | |
| 베이크 아웃 온도 (피드스루 및 커넥터) | °C | 130 |
| 하우징 | 스테인레스 스틸 303/1.4305 | |
| 절연체 | PEEK/아랄다이트 | |
| 씰 | FPM | |
접촉
| 금 도금 황동/청동/ 스테인레스 스틸 | |
치수 도면
| 진공 연결 | DN16 ISO-KF | |
| 피드스루 수 | 9 | |
| 폴당 전압 | V | 50 |
| 폴당 전류 | A | 2 |
| 연결 | ||
| 진공 측 | 납땜 연결 | |
| 대기 측 | 커넥터 | |
| 연결선의 직경 | mm | 1.2 |
| 기밀성 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 압력(절대) | 1 x 10-8 mbar...2.5 bar | |
| 베이크 아웃 온도 (피드스루 및 커넥터) | °C | 130 |
| 하우징 | 스테인레스 스틸 303/1.4305 | |
| 절연체 | PEEK/아랄다이트 | |
| 씰 | FPM | |
접촉
| 금 도금 황동/청동/ 스테인레스 스틸 | |
치수 도면
파트 넘버
| 파트 넘버 | 설명 |
| 4 Feedthroughs with ATM Connector | |
| 214-111 | Feedthrough, 4 poles |
| 214-171 | Connector: atmospheric side |
| 9 Feedthroughs with ATM Connector | |
| 214-112 | Feedthrough, 9 poles |
| 214-172 | Connector: atmospheric side |
| 9 Feedthroughs with ATM & vacuum connector | |
| 214-113 | Feedthrough, 9 poles |
| 214-191 | Connector: vacuum side |
| 214-172 | Connector: atmospheric side |
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Elektrische Durchführungen DN16 ISO-KF DE
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Electrical Feedthroughs DN16 ISO-KF EN
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Terminales de paso eléctricos DN16 ISO-KF ES
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電気フィードスルー DN16 ISO-KF JA
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电气馈入装置 DN16 ISO-KF ZH
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전기 피드스루 DN16 ISO-KF KO
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