진공 피드스루
전기 피드스루 DN40 ISO-CF-F
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON은 수년 동안 전 세계 모든 표준 진공 분야에 진출하여 경제적인 가격의 ISO-KF 플랜지 피드스루를 제공해 왔습니다. 이 피드스루 이외에도 진공 챔버의 진공 및 대기용 커넥터 선택을 구성할 수 있습니다.
UHV 분야의 경우 CF 플랜지 피드스루는 다양한 크기와 기술 사양으로 제공됩니다.
장점
- 2011/65/EU RoHS 준수
사양
1 피드스루
1 피드스루 (고전류)
2 피드스루
4 피드스루
9 피드스루
진공 연결 | DN40 ISO-CF-F | |
피드스루 수 | 1 | |
폴당 전압 | kV | 0.3 |
폴당 전류 | A | 70 |
베이크 아웃 온도 | °C | 400 |
기밀성 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
압력(절대) | 1 x 10-10 mbar...2 bar | |
플랜지 | 스테인레스 스틸 304L/1.4306 | |
도체 | OF-구리 2.0040 | |
절연체 | 산화 알루미늄 세라믹 Al2O3 | |
무게 | kg | 0.15 |
연결 조각: 진공 측 | ||
개 | 2 | |
최대 전류 | A | 20 |
베이크 아웃 온도 | °C | 400 |
재료 | 스테인레스 스틸 304/1.4301 | |
커넥터: 대기 측 | ||
개 | 2 | |
최대 전류 | A | 100 |
절연됨, 사용 최대 | V(ac)/V(dc) | 비절연 |
베이크 아웃 온도 | °C | 150 |
접촉
| 은도금 황동 |
진공 연결 | DN40 ISO-CF-F | |
피드스루 수 | 1 | |
폴당 전압 | kV | 1 |
폴당 전류 | A | 200/1000 1) |
베이크 아웃 온도 | °C | 400 |
기밀성 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
압력(절대) | 1 x 10-10 mbar...2 bar | |
플랜지 | 스테인레스 스틸 304L/1.4306 | |
도체 | OF-구리 2.0040 | |
절연체 | 산화 알루미늄 세라믹 Al2O3 | |
무게 | kg | 0.5 |
연결 조각: 진공 측 | ||
개 | 1 | |
최대 전류 | A | 1000 1) |
베이크 아웃 온도 | °C | 400 |
재료 | 2.0060 | |
커넥터: 대기 측 | ||
개 | 1 | |
최대 전류 | A | 250 |
절연됨, 사용 최대 | V(ac)/V(dc) | 30/60 |
베이크 아웃 온도 | °C | 150 |
접촉 | 은도금 황동 | |
1) 수냉식
|
진공 연결 | DN40 ISO-CF-F | |
피드스루 수 | 2 | |
폴당 전압 | kV | 4 |
폴당 전류 | A | 150 |
베이크 아웃 온도 | °C | 400 |
기밀성 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
압력(절대) | 1 x 10-10 mbar...2 bar | |
플랜지 | 스테인레스 스틸 304L/1.4306 | |
도체 | OF-구리 2.0040 | |
절연체 | 산화 알루미늄 세라믹 Al2O3 | |
무게 | kg | 0.45 |
연결 조각: 진공 측 | ||
개 | 2 | |
최대 전류 | A | 100 |
베이크 아웃 온도 | °C | 400 |
재료 | 스테인레스 스틸 304/1.4301 | |
커넥터: 대기 측 | ||
개 | 2 | |
최대 전류 | A | 100 |
절연됨, 사용 최대 | V(ac)/V(dc) | 30/60 |
베이크 아웃 온도 | °C | 50 |
접촉
| 은도금 황동 |
진공 연결 | DN40 ISO-CF-F | |
피드스루 수 | 4 | |
폴당 전압 | kV | 1 |
폴당 전류 | A | 8 |
베이크 아웃 온도 | °C | 400 |
기밀성 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
압력(절대) | 1 x 10-10 mbar...2 bar | |
플랜지 | 스테인레스 스틸 304L/1.4306 | |
도체 | 스테인레스 스틸 304/1.4301 | |
절연체 | 산화 알루미늄 세라믹 Al2O3 | |
무게 | kg | 0.3 |
연결 조각: 진공 측 | ||
개 | 5 | |
최대 전류 | A | 12 |
베이크 아웃 온도 | °C | 400 |
재료 | 스테인레스 스틸 304/1.4301 | |
커넥터: 대기 측 | ||
개 | 5 | |
최대 전류 | A | 25 |
절연됨, 사용 최대 | V(ac)/V(dc) | 30/60 |
베이크 아웃 온도 | °C | 50 |
접촉
| 금 도금 황동 |
진공 연결 | DN40 ISO-CF-F | |
피드스루 수 | 9 | |
폴당 전압 | kV | 1 |
폴당 전류 | A | 8 |
베이크 아웃 온도 | °C | 400 |
기밀성 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
압력(절대) | 1 x 10-10 mbar...2 bar | |
플랜지 | 스테인레스 스틸l 304L/1.4306 | |
도체 | 스테인레스 스틸 304/1.4301 | |
절연체 | 산화 알루미늄 세라믹 Al2O3 | |
무게 | kg | 0.5 |
연결 조각: 진공 측 | ||
개 | 10 | |
최대 전류 | A | 12 |
베이크 아웃 온도 | °C | 400 |
재료 | 스테인레스 스틸 304/1.4301 | |
커넥터: 대기 측 | ||
개 | 10 | |
최대 전류 | A | 25 |
절연됨, 사용 최대 | V(ac)/V(dc) | 30/60 |
베이크 아웃 온도 | °C | 50 |
접촉
| 금 도금 황동 |
파트 넘버
파트 넘버 | 설명 |
1 피드스루 DN40 ISO-CF-F | |
214-136 | Feedthrough, 1 pole |
214-176 | Connector: atmospheric side |
214-195 | Connection piece: vacuum side |
1 피드스루 DN40 ISO-CF-F (고전류) | |
214-127 | Feedthrough, 1 pole |
214-177 | Connector: atmospheric side |
214-178 | Connector: atm. side, H2O cooled |
214-196 | Connection piece: vacuum side |
2 피드스루 DN40 ISO-CF-F | |
214-128 | Feedthroughs, 2 poles |
214-176 | Connector: atmospheric side |
214-195 | Connection piece: vacuum side |
4 피드스루 DN40 ISO-CF-F | |
214-116 | Feedthroughs, 4 poles |
214-173 | Connector: atmospheric side |
214-192 | Connection piece: vacuum side |
9 피드스루 DN40 ISO-CF-F | |
214-117 | Feedthroughs, 9 poles |
214-181 | Connector: atmospheric side |
214-198 | Connection piece: vacuum side |
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Elektrische Durchführungen DN40 CF-F DE
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电气馈入装置 DN40 CF-F ZH
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1 Feedthrough (high current), vacuum side
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1 Feedthrough DN40 ISO-CF-F
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2 Feedthroughs
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9 Feedthroughs
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9 Feedthroughs, atmospheric side
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9 Feedthroughs, vacuum side
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Connection piece: vacuum side
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Connector atm. side, H₂O cooled
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Connector: atmospheric side
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